Waseda University
Crystal Engineering of Green Semiconductors Laboratory
環境に優しい半導体材料を開発し、結晶成長技術を探求します。
About Our Lab
省エネや創エネに貢献するため、半導体の材料・デバイス・システムを総合的に俯瞰して研究を進めています。その中でも、環境に優しい半導体「環境半導体」の材料開発や結晶成長プロセス開発、および環境半導体の物性制御に関する研究に取り組んでいます。また、省エネが期待される半導体デバイス開発にも取り組みます。さらに、あらゆるエネルギー変換過程で不可避に発生する排熱を有効利用するため、熱電変換に注目し、環境半導体と合わせて蓄エネまで含めたトータルシステムの構築を目指しています。半導体結晶工学および半導体結晶成長技術を基盤としてさまざまな分野と融合しつつ、環境半導体の学問分野および環境に優しい半導体産業の発展に貢献していきます。
Publication
Kinetic analysis of face-centered-cubic TiAlN film deposition by chemical vapor deposition
Momoko Deura, Hiroki Sato, Jun Yamaguchi, Tomoko Hirabaru, Hayato Kubo, Takeshi Momose, Takahito Tanibuchi, Yukihiro Shimogaki
Materials Science and Engineering B, 264 114992-114992 2021
Strain control of GaN grown on Si substrates using an AlGaN interlayer
Momoko Deura, Takuya Nakahara, Takeshi Momose, Yoshiaki Nakano, Masakazu Sugiyama, Yukihiro Shimogaki
Journal of Crystal Growth. 514 65-69 2019
Mechanical properties of cubic-BN(111) bulk single crystal evaluated by nanoindentation
M. Deura, K. Kutsukake, Y. Ohno, I. Yonenaga, T. Taniguchi
Physica Status Solidi B, 255 1700473/1-1700473/4 2018
学生募集
新しい環境で自分の力を試してみたい方，ぜひ私たちと一緒に未来の技術を切り拓いていきましょう！
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出浦 桃子
メールアドレス: deura@waseda.jp